CAS號(hào): 7783-63-3
分子式: F4Ti
分子量: 123.86
化學(xué)性質(zhì)"四氟化鈦為有吸濕性的白色粉末,相對(duì)密度2.798,熔點(diǎn)284℃,常壓下284℃即升華。易溶于水并分解,不溶于。在100℃時(shí)與硅氯仿反應(yīng)生成硅氟仿??膳c某些胺類及吡啶等形成加合物。
用途:用于成膜材料及離子注人摻雜。在微電子工業(yè)上用于化學(xué)氣體沉積,以制作低電阻、高熔點(diǎn)的互連線。
白色粉狀
10kg/紙板桶
2300/kg