應(yīng)用:
Super-Spherotronic, Super-Spherotronic HR, UltraSpherotronic, Compact Spherotronic等都可以應(yīng)用于下述場合的再生產(chǎn)或者實(shí)驗(yàn)室的曲率半徑測量
? 凹面/凸面光學(xué)元件
? 研磨或拋光的光學(xué)元件
? 球面及球體
? 對樣板
? 配合專用的測量環(huán),還可以用于圓柱面的曲率半徑測量
Super-Spherotronic HR 精密球徑儀 |
Compact Spherotronic緊湊型球徑儀 |
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精密球環(huán)及平晶 |
特點(diǎn):
? 主體結(jié)構(gòu)使用厚重的不銹鋼制造,與檢測頭之間的同心性優(yōu)于1微米 (0.00004")
? 測量環(huán)用經(jīng)過熱處理的不銹鋼制造并超高精密加工而成,每個(gè)測量環(huán)都帶有標(biāo)定數(shù)據(jù)。測量精度直接溯源于NIST標(biāo)準(zhǔn)
? 支撐球用紅寶石或者碳化鎢制造,避免熱或者機(jī)械變形。支撐球同樣精密地同心定位,定位精度優(yōu)于1微米 (0.00004")
? 采用高精密的Heidenhain編碼器,其誤差小于0.2 微米 (0.000008")
? 用于零位標(biāo)定的平晶面形精度為:λ/10
? 一套標(biāo)準(zhǔn)測量環(huán)直徑范圍為7.8---120mm(其他直徑的根據(jù)客戶要求定做)
型號系列:
? Super-Spherotronic HR ? UltraSpherotronic ? Compact Spherotronic
技術(shù)參數(shù):
型 號
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Super-Spherotronic HR
精密球徑儀
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Ultra-Spherotronic
超精密球徑儀
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Spherocompact:
緊湊型球徑儀
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測量范圍
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曲 率(凸)
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+3.5mm~∞
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+3.5mm~∞
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+2.5mm~∞
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曲 率(凹)
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-6mm~∞
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-6mm~∞
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-4mm~∞
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線性編碼器行程
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+/- 30mm
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+/-30 mm
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+/-12.5mm
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被測樣品直徑
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6~500mm
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6~500mm
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5~500mm
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精度
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線性編碼器分辨率
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0.1μm
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0.01/0.05/0.1μm
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0.1μm
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線性編碼器精度
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±0.2μm
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±0.05μm
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+/-0.2μm
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曲率測量精度
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0.01%.
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0.005%.
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0.05%
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精密球環(huán)(選項(xiàng))
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精密球環(huán)
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精密紅寶石球環(huán)(選項(xiàng))
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標(biāo)準(zhǔn)環(huán)直徑分別為:7.8mm、14mm、20mm、28mm、38mm、60mm、90mm、120mm
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標(biāo)準(zhǔn)環(huán)直徑分別為:12.5mm、25mm、50mm, 75mm、100mm、125mm
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可選擇:48mm, 75mm, 150mm, 225mm (特殊尺寸需求可訂購)
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特殊尺寸:6mm、150mm、 225mm (特殊尺寸需求可訂購)
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球徑儀使用的精密平晶(選項(xiàng)):Ф30mm λ/10、 Ф50mm λ/10、 Ф100mm λ/5、 Ф150mm λ/3
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