點(diǎn)擊圖片查看大圖日本JSK真空發(fā)生器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、液晶面板制造等行業(yè)，或者其他一些有超高純流體要求的行業(yè).
應(yīng)用流體:特氣二次配管系統(tǒng)，設(shè)備和機(jī)臺(tái)里面的超高純氣體、易燃易爆氣體以及有毒氣體等特種電子氣體.
工作壓力：60-80PSI
流量：對(duì)于氮?dú)?，在壓力?span>80PSIG的條件下，流量2.7 scfm
工作溫度：121℃
膜片密封和CTFE閥座致使在氦檢的時(shí)候泄漏率也只達(dá)到1x 10 scc/s.
內(nèi)側(cè)和閥座旁邊均經(jīng)過(guò)了氦檢.
連接尺寸:3/8" 1/2"
在10級(jí)潔凈廠房吹掃并終包裝
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