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● 高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通 過氧化反應，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能 基（微量的水分及二氧化碳影響）。 同樣在氮氣等離子體中，氮原子被吸收在表面中，生 成-NH 2等官能基。
● 硅晶圓蝕刻。
● 材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
● 石棉預處理（膜過濾灰化）。
● 從電子設(shè)備到生化市場。
● 低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
● 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
● 表面有機物去除
特點
● RF為200 W的高性能輸出類型（PR200）。
● 由于是尺寸緊湊的臺式機，很小的位置都可以安裝。
● 同步，自動調(diào)諧，操作簡單（PR200）。
● 等離子體反應器（灰化設(shè)備）（PR200）。
● 同步、自動調(diào)諧（PR200）。
反應腔
［例］石棉分析前處理
規(guī)格
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型號 |
PR200 |
PR300 |
PR301 |
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模式 |
DP模式，桶型 |
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控制部 |
高頻輸出 |
Max300W |
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頻率 |
13.56MHz |
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同調(diào)方式 |
手動2軸同調(diào)方式 |
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反應部 |
反應腔 |
耐熱玻璃 Φ100×160mm |
超硬質(zhì)玻璃 Φ64×160mm×3室 |
耐熱玻璃 Φ118×160mm |
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反應氣體 |
1系統(tǒng)（氧氣）流量計 |
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控制 |
手動密閉閥 |
自動減壓、自動密閉閥 |
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配管材質(zhì) |
不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金 |
不銹鋼、特氟龍 |
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外形尺寸 |
W350×D400×H500mm |
W438×D520×H556mm |
W438×D520×H630mm |
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重量 |
約10kg |
約36kg |
約34kg |
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電源 |
AC100V 15A |
AC100V 7A |
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