點擊圖片查看大圖● 操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
● 軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。
● 傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
● 可通過網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作（選購品）。
規(guī)格
|
型號 |
YSP63FA |
|
模式 |
RIE（DP模式選購） |
|
高頻輸功率 |
600W |
|
反應(yīng)臺尺寸 |
W385×D362mm |
|
內(nèi)腔尺寸 |
W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸） |
|
反應(yīng)氣體 |
2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣） |
|
反應(yīng)氣體流量控制 |
質(zhì)量流量控制器 |
|
真空泵 |
旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min） |
|
氣體導(dǎo)入口 |
反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 |
|
外形尺寸 |
W1860×D1100×H1800mm |
免責(zé)聲明：（1）以上所展示的信息由企業(yè)自行提供，內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)球塑化網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。我們原則上建議您優(yōu)先選擇“塑企通”會員合作! （2）同時我們鄭重提醒各位買/賣家，交易前請詳細(xì)核實對方身份，切勿隨意打款或發(fā)貨，謹(jǐn)防上當(dāng)受騙。如發(fā)現(xiàn)虛假信息，請向環(huán)球塑化網(wǎng)舉報。
簡繁切換